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晶盛機電首臺硬軸直拉爐成功生長出8英寸硅單晶
發布時間:2020-08-24 信息來源: 瀏覽次數:3009


 

       8月23日,晶盛機電晶體實驗室采用硬軸直拉硅單晶爐生長出直徑8英寸硅單晶,這是國內首臺硬軸直拉爐生長出的首顆8英寸晶體。該晶體的成功生長,是我國在半導體級硅單晶生長裝備領域的重大突破,進一步鞏固了公司晶體生長裝備技術的核心競爭力。

 

       晶盛機電專注于半導體硅單晶生長裝備研發,從2006年開發出第一代硅單晶爐開始,先后開發出TDR85、TDR95、TDR110、TDR130等多款滿足直徑6-12英寸硅單晶生長裝備。又相繼開發出定拉速控徑、液位控制、定放肩、超導磁場拉晶等多項先進技術,先后主持兩項國家科技重大02專項課題(“300mm硅單晶直拉生長裝備的開發”和“8英寸區熔硅單晶爐國產設備研制”),是目前行業內產品種類齊全、技術領先的硅單晶爐制造企業。

 

       隨著國內集成電路產業技術發展,提高單晶材料內在品質越來越重要。傳統直拉硅單晶爐采用鎢合金纜繩作為晶體提拉和旋轉動作的傳動軸,業內統稱為軟軸。本次晶盛機電開發的硬軸技術,克服了軟軸使用過程中晶體在高晶轉下易晃動,可以有效改善晶體徑向均勻性。晶盛研發團隊在開發過程中解決了軸動密封、抗震動、軸水冷、氣流場等諸多技術難題。此次首顆晶體的成功面世,是晶盛研發團隊在“打造半導體材料裝備領先企業”使命引領下,又一個扛鼎之作。

 

       硅晶圓作為微電子產業最重要的原材料仍嚴重依賴進口,半導體產業從裝備到材料的國產化成為國內半導體人的使命。晶盛機電此次硬軸直拉爐的研制成功,為國內大硅片行業提供了裝備保障。2021年公司將推出12英寸硬軸直拉硅單晶爐面向市場,為國產大尺寸硅片產業騰飛助力。

 

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